以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()

7 查阅

以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()

A.易挥发,高浓度磷原子不能掺入硅熔体

B.高浓度磷掺入的微缺陷难以准确显示

C.磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀

D.高浓度磷容易造成组分过冷,导致多晶

参考答案:

答案:磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀