以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()
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以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()
A.易挥发,高浓度磷原子不能掺入硅熔体
B.高浓度磷掺入的微缺陷难以准确显示
C.磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀
D.高浓度磷容易造成组分过冷,导致多晶
参考答案:
以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()
A.易挥发,高浓度磷原子不能掺入硅熔体
B.高浓度磷掺入的微缺陷难以准确显示
C.磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀
D.高浓度磷容易造成组分过冷,导致多晶
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