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以下对于硅外延生长描述不正确的是（）

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以下对于硅外延生长描述不正确的是（）

A.不同的晶向生长速率不同，对于硅而言，<100>生长速率最快

B.温度影响硅外延生长速率，温度越高外延层的生长速率越高

C.气体和载体的比例影响硅外延生长的速率，存在一个最佳比例生长速率最高

D.生长速率随着气体流量的增加而增大

参考答案:

答案：温度影响硅外延生长速率，温度越高外延层的生长速率越高

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