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通常掩膜氧化采用的工艺方法为：

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通常掩膜氧化采用的工艺方法为：

A.掺氯氧化

B.干氧

C.干氧-湿氧-干氧

D.低压氧化

参考答案:

答案：干氧-湿氧-干氧

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