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问题
poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的?
6 查阅
poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的?
A.PECVD
B.LPCVD
C.APCVD
D.LCVD
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参考答案:
答案:LPCVD
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