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关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？

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关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？

A.采取浸入式光刻方法

B.光源为紫光

C.驻波效应对分辨率无影响

D.使用移相掩膜技术制备的光刻版

参考答案:

答案：采取浸入式光刻方法；使用移相掩膜技术制备的光刻版

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