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VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：

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VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：

A.自掺杂效应

B.互扩散效应

C.衬底表面没清洗干净的缘故。

D.掺杂气体不纯

参考答案:

答案：互扩散效应

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