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在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是（）。当偏离晶向（）ψc注入时，可以避免。

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在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是（）。当偏离晶向（）ψc注入时，可以避免。

A.沟道效应，<

B.沟道效应，>

C.横向效应，<

D.横向效应，>

参考答案:

答案：沟道效应，>

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