从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?

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从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?

A.靶放在面积小的电极上

B.靶放在面积大的电极上

C.衬底放在面积大的电极上

D.衬底放在面积小的电极上

参考答案:

答案:靶放在面积小的电极上;衬底放在面积大的电极上