从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?
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从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?
A.靶放在面积小的电极上
B.靶放在面积大的电极上
C.衬底放在面积大的电极上
D.衬底放在面积小的电极上
参考答案:
从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?
A.靶放在面积小的电极上
B.靶放在面积大的电极上
C.衬底放在面积大的电极上
D.衬底放在面积小的电极上
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