形成B的超浅结掺杂(剂量为QB)时,为了避免沟道效应可否先注入锑(剂量为QSb)再注入硼?实际注入了多少硼?
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形成B的超浅结掺杂(剂量为QB)时,为了避免沟道效应可否先注入锑(剂量为QSb)再注入硼?实际注入了多少硼?
A.不可以
B.可以,实际注硼:QB+QSb
C.可以,实际注硼:QB-QSb
D.可以,实际注硼:QB
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