形成B的超浅结掺杂(剂量为QB)时,为了避免沟道效应可否先注入锑(剂量为QSb)再注入硼?实际注入了多少硼?

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形成B的超浅结掺杂(剂量为QB)时,为了避免沟道效应可否先注入锑(剂量为QSb)再注入硼?实际注入了多少硼?

A.不可以

B.可以,实际注硼:QB+QSb

C.可以,实际注硼:QB-QSb

D.可以,实际注硼:QB

参考答案:

答案:可以,实际注硼:QB+QSb