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下列有关曝光的描述正确的是：

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下列有关曝光的描述正确的是：

A.确定图案的精确形状和尺寸；

B.步进曝光机一次就可以完成曝光；

C.使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影；

D.需要进行准确对版后再曝光，才能保证各次光刻的套准精度。

参考答案:

答案：确定图案的精确形状和尺寸；；使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影；；需要进行准确对版后再曝光，才能保证各次光刻的套准精度。

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