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在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中，哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层？

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在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中，哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层？

A.MBE

B.VPE.LPE

C.UHV/CVD

D.SEG.SPE

参考答案:

答案：MBE；UHV/CVD

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