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CVD方法生长的薄膜材料一般纯度和致密性都很好，但是反应的源气、余气有毒。

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CVD方法生长的薄膜材料一般纯度和致密性都很好，但是反应的源气、余气有毒。

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B.错误

参考答案:

答案：正确

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