基于MEMS的新型微结构气敏传感器,中,硅基微结构器皿传感器是当前微结构气敏传感器的主流。MEMS,是指()
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基于MEMS的新型微结构气敏传感器,中,硅基微结构器皿传感器是当前微结构气敏传感器的主流。MEMS,是指()
A.巨机电系统
B.微机电系统
C.微生物机械系统
参考答案:
基于MEMS的新型微结构气敏传感器,中,硅基微结构器皿传感器是当前微结构气敏传感器的主流。MEMS,是指()
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