将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:
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将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.化学机械抛光
参考答案: