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8镀减反射膜时，硅片表面有扩散卡点，是什么原因：

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8镀减反射膜时，硅片表面有扩散卡点，是什么原因：

A.镀膜时间太短

B.压力太大

C.NH3流量小了

D.石墨舟不干净

参考答案:

答案：A

知识竞赛

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